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| 硅压阻式真空变送器 | |
| 作者姓名： | 庞世信 匡石 |
| 作者单位： | 机电部沈阳仪器仪表工艺研究所(庞世信，匡石)，机电部沈阳仪器仪表工艺研究所(徐淑霞) |
| 摘 要： | 本文叙述了采用单晶硅压阻效应制作真空变送器的机理和关键工艺．给出了测量结 果和结论，讨论了该元件应用范围等问题。 |
| 关 键 词： | 传感器 真空变送器 压敏元件 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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