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| Ga－In－As－Sb系合金固－液平衡和人工神经网络预报 | |
| 引用本文： | 严六明,吴伟,张靖巍,陈念贻,彭瑞伍.Ga－In－As－Sb系合金固－液平衡和人工神经网络预报[J].半导体学报,1995,16(8):603-607. |
| 作者姓名： | 严六明 吴伟 张靖巍 陈念贻 彭瑞伍 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 摘 要： | 本文用ＤＴＡ法测量了Ｇａ－Ｉｎ－Ａｓ－Ｓｂ系合金的液相线温度，并用滑舟法在Ｇａｓｈ衬底上生长液相外延膜，并用电子探针法分析膜的成分．在此基础上利用实验数据和文献数据训练人工神经网络模型，神经网络模型用交叉检验法测试是否过拟合．经测试合格的神经网络可以预报液相线温度和外延层组成． |
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