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| 稳健估计用于氮化铝金属化工艺的研究 | |
| 作者姓名： | 胡向洋 汪荣昌 |
| 摘 要： | 应用化学镀镍的方法实现了氮化铝的金属化。为得到较大的氮化铝金属化层粘附力，运用基于稳健估计的神经网络研究氮化铝金属化中化学镀镍的反应参数与金属层粘附力的关系。为使神经网络更加稳健，本文根据统计学原理，在前馈神经网络基础上，采取稳健估计方法改进神经网络。建立了定量预测粘附力性能的模型，并进行实验验证。确定金属化工艺中稳定的优化工作区域。结果表明，稳健估计方法既有传统神经网络的优点，又有较强的抵抗异常 |
| 关 键 词： | 稳健估计 化学镀镍 氮化铝 集成电路 封装 |
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