| 微电子机械系统中的超微电机 |
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| 引用本文： | 陈宝,施进浩.微电子机械系统中的超微电机[J].电子元件与材料,2003,22(12):46-48. |
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| 作者姓名： | 陈宝 施进浩 |
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| 作者单位： | 信息产业部电子第二十一研究所,上海,200233 |
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| 摘 要： | 介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 静电型微电机 电磁型微电机 |
| 文章编号： | 1001-2028(2003)12-0046-03 |
The Micro-motor of Micro Electromechanical System |
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| CHEN Bao,SHI Jin-hao.The Micro-motor of Micro Electromechanical System[J].Electronic Components & Materials,2003,22(12):46-48. |
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| Authors: | CHEN Bao SHI Jin-hao |
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| Abstract: | Micro motors, one of the important devices in the micro electromechanical system, are discussed, including electrostatic micro-motors, electromagnetic micro-motors and ultrasonic micro-motors. The principles, classification and characteristics are analyzed and the developing trend is reviewed. |
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| Keywords: | micro electromechanical system electrostatic micro-motors electromagnetic micro -motors |
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