高道密度磁头定位技术的研究

随着光刻伺服磁盘道密度的提高，要求必须具有定位精度高的驱动定位系统相匹配。本文磁头驱动定位系统中采用了电致伸缩陶瓷和压电陶瓷微位移器作二级定位技术，提高了磁头定位精度。