|
|||||
|
|
| 微机电一体化与纳米技术 | |
| 引用本文： | 赵玉珍,段宝岩.微机电一体化与纳米技术[J].电子科技,1995(3):1-4,8. |
| 作者姓名： | 赵玉珍 段宝岩 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学信息科学研究所，西安电子科技大学电子机械学院 |
| 摘 要： | 文中介绍了当前国际上微型机械、微型机械电子学的发展现状与趋势。提出了进行以微米、纳米技术为基础的微机电一体化新技术研究的建议。 |
| 关 键 词： | 微机电一体化 纳米技术 微型机械 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |