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| 硅片的超声和兆声清洗技术 | |
| 作者姓名： | 赵献雷 |
| 作者单位： | 保定天威英利新能源有限公司,河北保定,071051 |
| 摘 要： | 本文介绍了超声清洗技术和兆声清洗技术在硅片清洗工艺中的应用,详细阐述了两种清洗技术的原理、特点、存在的问题以及两者的区别。 |
| 关 键 词： | 硅片 清洗 超声波 兆声波 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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