| 非接触测量中激光扫描探头的研究 |
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| 引用本文： | 张小红. 非接触测量中激光扫描探头的研究[J]. 光学精密工程, 1993, 1(5): 141-145 |
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| 作者姓名： | 张小红 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所 长春130022 |
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| 摘 要： | 本文基于光学三角测量原理设计了一种高精度、多功能的非接触激光扫描探头装置,对该装置的性能特点进行了系统地研究,并用所设计的探头装置对几种不同的漫射面进行了实际测量,给出了实验结果,实验表明该装置精度优于2μm。
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| 关 键 词： | 精密测量 非接触测量 |
| 收稿时间： | 1993-11-20 |
A Study of Laser Scanning Probe in Non-Contact Measurement |
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| Zhang Xiaohong. A Study of Laser Scanning Probe in Non-Contact Measurement[J]. Optics and Precision Engineering, 1993, 1(5): 141-145 |
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| Authors: | Zhang Xiaohong |
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| Affiliation: | Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, 130022 |
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| Abstract: | This paper we report a design of a high accuracy, versatile non-contact laser scanning probe based on optical triangulation principle, and make a preliminary experiment on different diffuse surfaces, analyse the nonlinear deviation of the laser scannering probe. |
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| Keywords: | Precision measuring Non-contact measuring |
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