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BG—102型分步曝光机承片台结构分析

作者姓名：	李正贤

作者单位：	电子工业部第四十五研究所

摘要：	介绍了ＢＧ—１０２分步曝光机的承片台结构，并对其运动原理、精度及结构特点作了分析。
关键词：	预对准十字簧片圆形簧片斜面凸轮
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