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| 发展集成电路必须重视半导体设备 | |
| 引用本文： | 陈中佛.发展集成电路必须重视半导体设备[J].微细加工技术,1984(2). |
| 作者姓名： | 陈中佛 |
| 作者单位： | 电子工业部第二十四研究所 |
| 摘 要： | 一、引言近二十年来,以集成电路(IC)和微计算机为中心的微电子技术发展十分迅速。集成电路已从小规模集成电路发展到了超大规模集成电路(VLSI)。目前已能大量生产第一代VLSI(16K位静态RAM~*、64K位动态RAM及16位微处理器);科研水平是第二代VLSI(64K位静态RAM、256K位动态RAM及32位微处理器);今年将发表256K位静态RAM。在整个七十年代中,电路的集成度平均每两年提高4倍,每块电路 |
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