IC芯片里的绝缘胶布:Low-K技术 |
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引用本文: | 仙道.IC芯片里的绝缘胶布:Low-K技术[J].计算机应用文摘,2004(6):18-19. |
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作者姓名: | 仙道 |
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摘 要: | 在摩尔定律的催化下,半导体制程技术日新月异地发展,从当初的8080处理器到现在的Prescott,芯片中的晶体管集成数量以不可思议的速度增长着,在给我们带来高速高效的同时也不可避免地产生了很多问题,譬如发热量太、制造工艺要求高质选择更为挑剔。而在所有众多须要解决的问题当中有一个比较尖——这就是由于电器元件相互之间的干扰而造成的芯片性能下降。随着芯片的不断发展,科学家们也一直在寻找各种方法来解决这个矛盾,如使用二氧化硅隔离,使用氟化硅玻璃等,但是在芯片集成度数以亿计的今天,这些技术已经无法满足现代工艺的需要,人们急需一种新的工艺方法来代替传统的氟化硅玻璃等传统材料。IBM率先提出了针对0.13微米工艺的解决方案,也就是Low-K技术。
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关 键 词: | IC芯片 绝缘胶布 Low-K技术 集成电路芯片 电子元件 0.18微米制程工艺 |
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