触针对LSI生产中膜台阶表面测量的影响

接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，基中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选择合适的触针测量力及针尖形状，实现对术本表面的无损测量。同时，本文推导出相应的公式，为提高触针测量的精度提供了理论依据。