基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器

相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一种基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器系统,用于微流体的流量测量。文中利用数字光刻投影系统(DLPS)加工制作了加热电极和流路通道的模板,选择ITO导电玻璃制作薄膜加热电极和流路基底,使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作微型流路的通道,同时借助氧等离子体激活实现ITO导电玻璃与PDMS流路通道的不可逆封装键合。该微型流量传感器系统利用STC12C5A系列单片机对硬件电路进行控制及流量测量结果显示,并借助数字注射泵对流量传感器系统进行了测试和验证。该微型流量传感器可实现10～120μL/min的较精确测量。