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氨处理对溶胶凝胶增透膜激光损伤阈值的影响
引用本文:郭袁俊,祖小涛,蒋晓东,袁晓东,吕海兵,赵松楠,田东斌,王毕艺.氨处理对溶胶凝胶增透膜激光损伤阈值的影响[J].光电工程,2008,35(7):126-129.
作者姓名:郭袁俊  祖小涛  蒋晓东  袁晓东  吕海兵  赵松楠  田东斌  王毕艺
作者单位:1. 电子科技大学,物理电子学院应用物理系,成都,610054;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
2. 电子科技大学,物理电子学院应用物理系,成都,610054
3. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划) , 电子科技大学校科研和教改项目 , 中物院国防预研项目
摘    要:采用溶胶凝胶方法在K9 玻璃基片上镀制了SiO2 增透膜,并对其中一些样品进行了氨处理.分别采用原子力显微镜、红外光谱仪、椭偏仪、透射式光热透镜测试了氨处理前后薄膜的微观表面形貌、化学结构、折射率和弱吸收.实验结果表明:经氨处理后薄膜的孔隙率从0.73 降低到0.63 ,其弱吸收从67.88 ×10 -6 增加到74.58 ×10 -6 ,薄膜的激光损伤阈值从处理前的18.0 J/cm 2 降低到16.9 J/cm 2 .考虑到氨处理能提高SiO2 增透膜的机械性能,实际应用中应根据需要折中处理.

关 键 词:溶胶凝胶  SiO2    氨处理  激光损伤阈值  氨处理  溶胶凝胶  增透膜  激光损伤阈值  影响  Silica  Films  Damage  Threshold  Treatment  Ammonia  中处理  应用  机械性能  孔隙率  结果  实验  弱吸收  折射率  化学结构  微观表面形貌  薄膜
收稿时间:2007/10/22

Effect of Ammonia Treatment on Laser-induced Damage Threshold of Sol-Gel Silica Films
GUO Yuan-jun,ZU Xiao-tao,JIANG Xiao-dong,YUAN Xiao-dong,L Hai-bin,ZHAO Song-nan,TIAN Dong-bin,WANG Bi-yi.Effect of Ammonia Treatment on Laser-induced Damage Threshold of Sol-Gel Silica Films[J].Opto-Electronic Engineering,2008,35(7):126-129.
Authors:GUO Yuan-jun  ZU Xiao-tao  JIANG Xiao-dong  YUAN Xiao-dong  L Hai-bin  ZHAO Song-nan  TIAN Dong-bin  WANG Bi-yi
Affiliation:GUO Yuan-jun,ZU Xiao-tao,JIANG Xiao-dong,YUAN Xiao-dong,L(U) Hai-bin,ZHAO Song-nan,TIAN Dong-bin,WANG Bi-yi
Abstract:The sol-gel silica films on K9 glass substrates were prepared with the dip method, and some of them were treated in saturated ammonia gas. Microcosmic surface morphology, chemical structure, refractive index and weak absorption of the films before and after ammonia treatment were respectively measured by Atomic Force Microscopy (AFM), infrared spectrophotometer, ellipsometer and transmission photo-thermal lens. The experimental results indicated that the porous ratio of the films decreased from 0.73 to 0.63...
Keywords:Sol-gel  SiO2 film  ammonia treatment  LIDT  
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