| 无线通信领域MEMS器件的研究进展 |
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| 引用本文： | 章彬,黄庆安.无线通信领域MEMS器件的研究进展[J].微电子学,2001,31(3):198-203. |
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| 作者姓名： | 章彬 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学 微电子中心, |
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| 摘 要： | 无线通信技术的发展对系统小型化提出了要求，用IC技术制造的电路无源器件的性能无法满足要求，利用MEMS技术不仅能将器件小型化，与,电路集成实现单片化，并且器件性能也能达到要求。近年来，用MEMS技术制作电容、电感、开关以及谐振器等无源器件成为MEMS的又一个新的研究领域。文章简单介绍了无线通信领域MEMS器件的研究进展。
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| 关 键 词： | 微机电系统 射频集电电路 无线通信 无源元件 |
| 文章编号： | 1004-3365(2001)03-0198-06 |
| 修稿时间： | 2000年11月29 |
Progresses in the Research of MEMS Devices for Wireless Communication |
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| WTBZZHANG Bin,HUANG Qing an WTBX.Progresses in the Research of MEMS Devices for Wireless Communication[J].Microelectronics,2001,31(3):198-203. |
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| Authors: | WTBZ]ZHANG Bin HUANG Qing an [WTBX] |
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| Affiliation: | WT5BZ]ZHANG Bin,HUANG Qing an [WT6BX] |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Radio frequency IC Wireless communication Passive devices |
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