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| 热对流式双轴加速度传感器及其在消费类电子产品中的应用 | |
| 引用本文： | 颜重光.热对流式双轴加速度传感器及其在消费类电子产品中的应用[J].电子设计应用,2006(4):125-126. |
| 作者姓名： | 颜重光 |
| 作者单位： | 上海市传感技术学会 |
| 摘 要： | 以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的MEMS传感器,因其集成度高,并可与信号处理电路集成在一起,从而大大降低了生产成本,已经在汽车、消费和通信电子领域得到了广泛的应用。MEMS硅悬臂木梁加速度传感器、电容式加速度传感器已经应用得很普遍了。一种采用全新构造,并具有数 |
| 关 键 词： | 消费类电子产品 双轴加速度传感器 应用 对流式 MEMS传感器 加工工艺设计 半导体技术 电路集成 信号处理 生产成本 |
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