| 金刚石/氧化锌透明异质结的研制 |
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| 引用本文： | 杨洁,高春晓.金刚石/氧化锌透明异质结的研制[J].硅酸盐学报,2004,32(3):230-232,238. |
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| 作者姓名： | 杨洁 高春晓 |
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| 作者单位： | 吉林大学,超硬材料国家重点实验室,长春,130012;空军长春飞行学院,长春,130022;吉林大学,超硬材料国家重点实验室,长春,130012 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (695 760 12 )资助项目 |
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| 摘 要： | 利用化学气相沉积和磁控溅射方法制备了透明金刚石薄膜／氧化锌异质结。首先，在金刚石单晶表面外延生长1层透明p型半导体金刚石薄膜，然后在金刚石薄膜上利用反应磁控溅射方法制备出n型透明氧化锌半导体薄膜；进而利用溅射、光刻等方法制备出欧姆接触电极，获得了金刚石／氧化锌透明异质pn结。该结呈现典型的二极管伏安特性曲线，开启电压为1．0V。在500～700nm波长范围内，该结的透过率达到20％。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 氧化锌薄膜 异质结 化学气相沉积 磁控溅射 |
| 文章编号： | 0454-5648(2004)03-0230-03 |
PREPARATION OF TRANSPARENT DIAMOND/ZnO HETERO-JUNCTION |
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| YANG Jie.PREPARATION OF TRANSPARENT DIAMOND/ZnO HETERO-JUNCTION[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2004,32(3):230-232,238. |
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| Authors: | YANG Jie |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond film zinc oxide film hetero-junction chemical vapor deposition magnetic sputtering |
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