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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
液晶显示器用曝光装置
作者姓名:
廉子丰
作者单位:
电子工业部第45研究所
摘 要:
本文介绍了液晶显示器制造装置的市场动态;对LCD用曝光机在生产工艺中的地位进行了分析,总结了各类曝光机的特点;并对几种典型的曝光机的独特技术进行了剖析,提出了选准突破口发展我国LCD装置业的设想。
关 键 词:
液晶显示器,制造装置,一次面曝光,分步重复曝光,投影扫描曝光
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