| Sn—SnOx薄膜的组织结构及湿敏性 |
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| 引用本文： | 严百平,朱秉升,刘道新.Sn—SnOx薄膜的组织结构及湿敏性[J].材料研究学报,1996,10(1):73-76. |
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| 作者姓名： | 严百平 朱秉升 刘道新 |
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| 作者单位： | 西安理工大学，西安交通大学，西北工业大学 |
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| 摘 要： | 报道了一种制备Ｓｎ－ＳｎＯｘ湿敏薄膜的新工艺（ＶＥＴＯ）。首先在１ｍＰａ的真空下蒸发纯金属Ｓｎ质量分数９９９ｍｇ·ｇ＾－１，衬底温度控制在１５０￣２５０℃，蒸发的Ｓｎ膜在空气中缓慢氧化，即可获得湿度敏感的Ｓｎ－ＳｎＯｘ薄膜，利用ＸＲＤ和ＳＥＭ分析了膜的晶体结构和表面形貌，环境温度ＲＨ从１０％变到９７％时，膜阻抗变化的三个量级，膜电导是电子电导和离子电导的混合，在低湿区电子电导是主要的，在高湿区离子
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| 关 键 词： | 薄膜 湿敏性 薄膜结构 半导体薄膜 氧化硒 |
| 收稿时间： | 1996-02-25 |
| 修稿时间： | 1996-02-25 |
ORGANIZATION FORM AND HUMIDITY SENSITIVITY OF Sn-SnO_x THIN FILM |
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| YAN Baiping,ZHU Bingsheng LIU Daoxin.ORGANIZATION FORM AND HUMIDITY SENSITIVITY OF Sn-SnO_x THIN FILM[J].Chinese Journal of Materials Research,1996,10(1):73-76. |
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| Authors: | YAN Baiping ZHU Bingsheng LIU Daoxin |
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| Affiliation: | YAN Baiping; ZHU Bingsheng(Xi'an University of Technology) (Xi'an Jiaotong University)LIU Daoxin(The Northwestern Polytechnical University) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | evaporation thermal oxidation Sn-SnOx thin films humidity sensitivity |
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