| 模具钢微细蚀刻速率的研究 |
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| 引用本文： | 宋卿,张永俊,于兆勤,王冠.模具钢微细蚀刻速率的研究[J].表面技术,2013,42(6):40-43. |
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| 作者姓名： | 宋卿 张永俊 于兆勤 王冠 |
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| 作者单位： | 广东工业大学 机电学院, 广州 510006;广东工业大学 机电学院, 广州 510006;广东工业大学 机电学院, 广州 510006;广东工业大学 机电学院, 广州 510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目( U1134003) ;国家青年科学基金资助项目( 51205066 ) ;广东省自然科学基金资助项目( s2012010009022) |
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| 摘 要： | 目的 研究模具钢微细蚀刻中,蚀刻速率的变化规律。 方法 采用蚀刻液喷淋加工方式,对掩膜的模具钢表面进行蚀刻,考察掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响。 结果 蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加,当掩膜尺寸大于 150 μm 时,蚀刻速率增长较快;较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除,使得蚀刻反应充分,蚀刻速率较高;温度在一定范围内升高,蚀刻液活性增大,蚀刻效率提高,蚀刻速率增大。 结论 最佳工艺条件为:掩膜间隙尺寸 150 ~ 200 μm,蚀刻液喷淋压力 1 . 0 ~ 1 . 4 MPa,蚀刻液温度 35 ~ 40 ℃ 。 在此加工条件下,模具钢的蚀刻速率高,加工效率高,同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度。
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| 关 键 词： | 微细蚀刻 模具钢 蚀刻速率 |
| 收稿时间： | 2013/6/20 0:00:00 |
| 修稿时间： | 7/4/2013 12:00:00 AM |
Study on Etching Rate of Die Steel in Micro-etching |
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| SONG Qing,ZHANG Yong-jun,YU Zhao-qin and WANG Guan.Study on Etching Rate of Die Steel in Micro-etching[J].Surface Technology,2013,42(6):40-43. |
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| Authors: | SONG Qing ZHANG Yong-jun YU Zhao-qin and WANG Guan |
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| Affiliation: | Institute of Mechatronics, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China;Institute of Mechatronics, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China;Institute of Mechatronics, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China;Institute of Mechatronics, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-etching die steel etching rate |
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