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铜镍合金为衬底化学气相沉积法制备石墨烯研究
引用本文:李兴鳌,任明伟,任睿毅,王博琳,苏丹,马延文,杨建平.铜镍合金为衬底化学气相沉积法制备石墨烯研究[J].功能材料,2012,43(23):3257-3260.
作者姓名:李兴鳌  任明伟  任睿毅  王博琳  苏丹  马延文  杨建平
作者单位:1. 南京邮电大学材料科学与工程学院,江苏南京210046 南京邮电大学理学院,江苏南京210046
2. 南京邮电大学光电工程学院,江苏南京,210046
3. 南京邮电大学材料科学与工程学院,江苏南京,210046
4. 南京邮电大学理学院,江苏南京,210046
基金项目:国家自然科学基金资助项目,江苏省自然科学基金资助项目
摘    要:利用磁控双靶共溅射法制备了不同含量的铜镍合金薄膜,利用EDAX对合金薄膜衬底的铜镍配比进行了定量分析。以苯为碳源,选择相同的合金衬底分别在800、600和400℃的温度下使用化学气相沉积法生长石墨烯,对样品进行了拉曼光谱和SEM表征,研究了温度对石墨烯生长的影响。选择不同配比的铜镍合金衬底,在400℃下生长石墨烯,研究了衬底中铜、镍元素不同配比对石墨烯生长的影响。

关 键 词:石墨烯  化学气相沉积  铜镍合金  磁控溅射  

Study on the graphene preparation on Cu-Ni alloy substrate by chemical vapor deposition
LI Xing-ao,REN Ming-wei,REN Rui-yi,WANG Bo-lin,SU Dan,MA Yan-wen,YANG Jian-ping.Study on the graphene preparation on Cu-Ni alloy substrate by chemical vapor deposition[J].Journal of Functional Materials,2012,43(23):3257-3260.
Authors:LI Xing-ao  REN Ming-wei  REN Rui-yi  WANG Bo-lin  SU Dan  MA Yan-wen  YANG Jian-ping
Affiliation:1.School of Materials Science and Engineering, Nanjing University of Posts and Telecommunications,Nanjing 210046,China; 2.School of Optoelectronics Engineering,Nanjing University of Posts and Telecommunications,Nanjing 210046,China; 3.School of Mathematics and Physics,Nanjing University of Posts and Telecommunications,Nanjing 210046,China)
Abstract:
Keywords:graphene  chemical vapor deposition  Cu-Ni alloy  magnetron sputtering  benzene
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