| 高性能音叉结构MEMS陀螺的抗冲击设计 |
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| 引用本文： | 司朝伟,韩国威,宁瑾,赵永梅,杨富华.高性能音叉结构MEMS陀螺的抗冲击设计[J].微纳电子技术,2014(5):302-307. |
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| 作者姓名： | 司朝伟 韩国威 宁瑾 赵永梅 杨富华 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系;中国科学院半导体研究所;中国科学院传感技术国家重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61274001);北京市科技创新基地培育与发展工程专项(Z131103002813070) |
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| 摘 要： | MEMS音叉陀螺存在很多振动模态,分析发现,其在驱动方向上受到冲击时的振动形式与工作在驱动模态的振动形式是不同的。通过改进悬挂梁的尺寸结构,提高了冲击振动模态谐振频率以增强陀螺的抗冲击性,同时保持驱动模态谐振频率不超过20 kHz,保证了陀螺的性能。采用SOG工艺制备了所设计的MEMS音叉陀螺,经过测试,该陀螺驱动模态的品质因数为5 734,检测模态的品质因数超过了430 000,具备实现高精度角速度检测的能力。在重锤上对制备的陀螺进行了抗冲击测试,测试表明该陀螺在驱动方向上的抗冲击性能达到了23 000 g,能够满足惯性导航对器件的苛刻要求。
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| 关 键 词： | MEMS音叉陀螺 冲击模态 抗冲击性 高品质因数 惯性导航 |
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