| 碳化硅纳米晶须的制备研究进展 |
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| 引用本文： | 吴艳军,蔡炳初,张亚非,吴建生.碳化硅纳米晶须的制备研究进展[J].电子元件与材料,2003,22(9):41-44. |
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| 作者姓名： | 吴艳军 蔡炳初 张亚非 吴建生 |
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| 作者单位： | 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室,微纳米科学技术研究院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.50272039) |
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| 摘 要： | 介绍了制备SiC纳米晶须的方法,包括:固相碳源法(电弧放电,电阻加热蒸发,SiOx薄膜生长及CNTS受限反应法),液相碳源法(sol-gel),及气相碳源法(浮动催化剂法,Fe纳米薄膜催化法)等。分析了各种方法的特点及存在的问题。对制备SiC纳米晶须的前景与发展方向进行了评述。
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| 关 键 词： | SiC纳米晶须 制备方法 纳米电子材料 纳米复合材料 |
| 文章编号： | 1001-2028(2003)09-0041-04 |
New Progress on Manufacture Technology for SiC Nanorods |
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| WU Yan-jun,CAI Bing-chu,ZHANG Ya-fei,Wu Jian-sheng.New Progress on Manufacture Technology for SiC Nanorods[J].Electronic Components & Materials,2003,22(9):41-44. |
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| Authors: | WU Yan-jun CAI Bing-chu ZHANG Ya-fei Wu Jian-sheng |
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| Abstract: | Some manufacture technologies for SiC Nanorods are presented. They are the process of solid-phase carbon source, including arc-discharge, evaporation at high temperature, growth of SiOx film and carbon nanotube-confined reaction; the process of liquid-phase carbon source, including sol-gel; and the process of vapor-phase carbon source, including floating catalysis and nano-film catalysis |
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| Keywords: | SiC nanorods manufacture technology nano-electronic material nano-composite material |
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