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| 新颖的TFT LCD制作工艺 | |
| 作者姓名： | 李华南 |
| 摘 要： | 日本三菱电气公司新近开发了 a-Si TFT 的新工艺,为实现高性能 TFT LCD 创造了条件。下面作一介绍。1.制作工艺(1)TFT 结构TFTs 具有反相交错结构,图1为a-Si TFT 的剖面图。TFT 的 W/L 比为12μm/12μm。TFT LCD 的象素节距是318μm(V)×106μm(H),开口率为60%。 |
| 关 键 词： | 液晶显示器 制造 工艺 TFT LCD |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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