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金属剥离技术在声表面波滤波器中应用研究
引用本文:
程知群,毛友德.金属剥离技术在声表面波滤波器中应用研究[J].上海微电子技术和应用,1998(2):20-23.
作者姓名:
程知群
毛友德
作者单位:
[1]中国科学院上海冶金研究所 [2]合肥工业大学
摘 要:
本文采用金属剥离技术在LiNbO3基片上成功地制备了140MHz声表面波带通滤波器。通过选择最佳工艺参数,提高了声表面波滤波器的性能。
关 键 词:
金属剥离技术
声表面波
滤波器
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