| 退火温度对碳氮薄膜的纳米力学和纳米摩擦性能的影响 |
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| 引用本文： | 张瑞军,田占军,岳学庆.退火温度对碳氮薄膜的纳米力学和纳米摩擦性能的影响[J].中国材料科技与设备,2006,3(2):85-87. |
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| 作者姓名： | 张瑞军 田占军 岳学庆 |
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| 作者单位： | [1]燕山大学材料科学与工程学院,河北秦皇岛066004 [2]秦皇岛市自来水总公司,河北秦皇岛066001 |
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| 基金项目： | 河北省教育厅科研计划资助项目（2002204）;燕山大学博士基金资助项目（B65） |
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| 摘 要： | 采用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了氮含量不同的碳氮薄膜，采用真空退火技术对碳氮薄膜进行了退火处理，并且利用Laser Raman谱仪和Hysitron纳米力学测试系统对碳氮薄膜的结构、纳米力学以及纳米摩擦特性进行了研究。结果表明：随着退火温度的升高，碳氮薄膜中的sp^2含量降低，sp^2含量增加，而薄膜的纳米力学性能如纳米硬度和弹性模量则随之明显下降。在栽荷相同的条件下，不同氮含量的沉积态碳氮薄膜均表现出基本相同的摩擦系数值。但退火处理会显著改变碳氮薄膜的摩擦系数，氮含量相同时，退火温度越高，摩擦系数越大。但是，摩擦系数随退火温度增大的程度与薄膜中氮含量有关。
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| 关 键 词： | 碳氮薄膜 氮含量 退火 纳米力学性能 纳米摩擦特性 |
Nano- Mechanical Properties and Nano- Tribological Behaviors of the CNx Films Annealed at Different Temperatures |
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| ZHANG Rui -juni , TIAN Zhan -jun, YUE Xue - qing.Nano- Mechanical Properties and Nano- Tribological Behaviors of the CNx Films Annealed at Different Temperatures[J].Chinese Materials Science Technology & Equipment,2006,3(2):85-87. |
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| Authors: | ZHANG Rui -juni TIAN Zhan -jun YUE Xue - qing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CNx films Nitrogen content Annealing temperature Nano - mechanical property Nano - tribological behavior |
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