| 氩气压强对PET基磁控溅射银膜结构及导电性能的影响 |
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| 引用本文： | 洪剑寒,王鸿博,魏取福. 氩气压强对PET基磁控溅射银膜结构及导电性能的影响[J]. 材料导报, 2006, 20(Z2): 83-85 |
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| 作者姓名： | 洪剑寒 王鸿博 魏取福 |
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| 作者单位： | 江南大学生态纺织科学与技术教育部重点实验室,无锡,214122 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术研究重点项目 |
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| 摘 要： | 在室温条件下,采用磁控溅射法在PET纺粘非织造布上制备了纳米Ag薄膜,用原子力显微镜(AFM)表征磁控溅射真空室压强对纳米Ag薄膜结晶状态、粒径的影响;研究了溅射工艺参数与薄膜导电性能之间的关系.实验结果表明:在该实验范围内溅射速率随压强的增大先增大后减小;薄膜方块电阻的变化规律与溅射速率的变化规律一致;薄膜颗粒直径随压强的增大先增大后减小,但在压强大于1.5Pa时,薄膜颗粒直径随压强变化未呈现明显的变化规律.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 薄膜 原子力显微镜 纳米结构 导电性能 |
Effect of Ar''''s Pressure on Microstructure and Conductivity of Nano-structured Silver Films Deposited on PET by Magnetron Sputtering |
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| HONG Jianhan,WANG Hongbo,WEI Qufu. Effect of Ar''''s Pressure on Microstructure and Conductivity of Nano-structured Silver Films Deposited on PET by Magnetron Sputtering[J]. Materials Review, 2006, 20(Z2): 83-85 |
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| Authors: | HONG Jianhan WANG Hongbo WEI Qufu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering thin films AFM nano-structure conductivity |
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