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| 硫酸-甲醇体系钨电解抛光的可行性研究 | |
| 引用本文： | 宋萍,邢丕峰,谌家军,李朝阳,谢军.硫酸-甲醇体系钨电解抛光的可行性研究[J].电镀与涂饰,2009,28(3). |
| 作者姓名： | 宋萍 邢丕峰 谌家军 李朝阳 谢军 |
| 作者单位： | 1. 西华师范大学物理与电子信息学院,四川,南充,637002;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 3. 西华师范大学物理与电子信息学院,四川,南充,637002 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | 以硫酸-甲醇酸性体系作为电解液,对钨箔进行电解抛光研究.抛光后钨的表面均方根粗糙度和反射率的测试结果表明,该体系完全适用于金属钨的电化学抛光,对钨的阳极溶解行为进行了分析,讨论了溶液组成、槽电压、温度和搅拌速率对电抛光后钨表面粗糙度的影响.初步确定了金属钨电解抛光的工艺参数为:硫酸与甲醇的体积比1:7,槽电压15～22V,温度15～25℃,搅拌速率10m/s. |
| 关 键 词： | 钨 电解抛光 表面粗糙度 反射率 |
Feasibility of tungsten electropolishing in sulfuric acid-methanol electrolyte |
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| SONG Ping,XING Pi-feng,CHEN Jia-jun,LI Chao-yang,XIE Jun.Feasibility of tungsten electropolishing in sulfuric acid-methanol electrolyte[J].Electroplating & Finishing,2009,28(3). | |
| Authors: | SONG Ping XING Pi-feng CHEN Jia-jun LI Chao-yang XIE Jun |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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