| 化学气相沉积法制备TiC涂层的相组成和表面形貌 |
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| 引用本文： | 舒武炳,郭海明,乔生儒,孟国文,田长生. 化学气相沉积法制备TiC涂层的相组成和表面形貌[J]. 西北工业大学学报, 2000, 18(2): 229-232 |
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| 作者姓名： | 舒武炳 郭海明 乔生儒 孟国文 田长生 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710072 |
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| 基金项目： | 航空科学基金资助! ( 95G53 0 83) |
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| 摘 要： | 用化学气相沉积法在碳／碳复合材料表面沉积ＴｉＣ涂层。研究了工艺参数对ＴｉＣ涂层的相组成和表面形貌的影响以及ＣＶＤ ＴｉＣ涂层的沉积机理。实验结果表明，当进入沉积室的气体流量比为Ｈ２：ＴｉＣｌ４：ＣＨ４＝３００：２５：１０时，所得涂层中含较少的游离碳，ＴｉＣ纯度较高。随ＣＨ４流量增加，游离碳含量增加。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 TiC涂层 相组成 |
| 修稿时间： | 1998-06-08 |
Phase Composition and Surface Morphology of TiC Coating by Chemical Vapor Deposition |
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| Shu Wubing,Guo Haiming,Qiao Shengru,Meng Guowen,Tian Changsheng. Phase Composition and Surface Morphology of TiC Coating by Chemical Vapor Deposition[J]. Journal of Northwestern Polytechnical University, 2000, 18(2): 229-232 |
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| Authors: | Shu Wubing Guo Haiming Qiao Shengru Meng Guowen Tian Changsheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | chemical vapor deposition(CVD) TiC coating phase composition surface morphology |
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