| 三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统 |
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| 引用本文： | 赵大博,栗大超,李源,傅星,胡小唐. 三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 1504-1508 |
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| 作者姓名： | 赵大博 栗大超 李源 傅星 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法;加工了NMM测头模块;制作了压阻信号调理和采集电路;搭建了测试校准系统.该系统具有移动范围大,精度高,更换方便,易于控制和记录数据等特点.利用它对传感器在Z轴方向的输出作校准,结果证实校准曲线线性良好,传感器在三个方向上耦合很小,其Z方向测量分辨力能够达到30 nm,迟滞性小于±0.05%.
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| 关 键 词： | MEMS 坐标测量机 纳米定位 微触觉传感器 测试 校准 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1504-05 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
The Method and System for Testing and Calibration of Three-dimensional Micro Tactile MEMS Sensor |
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| Zhao Dabo,Li Dachao,Li Yuan,Fu Xing,Hu Xiaotang. The Method and System for Testing and Calibration of Three-dimensional Micro Tactile MEMS Sensor[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(5): 1504-1508 |
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| Authors: | Zhao Dabo Li Dachao Li Yuan Fu Xing Hu Xiaotang |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University, Tianjin 300072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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