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CaWO4Li2WO4陶瓷低温烧结特性及微波性能研究
作者姓名:章著  苏桦  唐晓莉  张磊  江超  荆玉兰
作者单位:(电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054)
基金项目:国家自然科学基金资助项目(51072029, 61271038);四川省科技支撑计划基金资助项目(2013GZX0144)
摘    要:采用固相反应法制备了(1-x)CaWO4-xLi2WO4(0≤x≤0.14)微波陶瓷,研究了Li2WO4作为第二相对CaWO4微波陶瓷的低温烧结特性和微波性能的影响。结果表明,Li2WO4相的存在能明显降低CaWO4的烧结温度,并且随着x的增加,(1-x)CaWO4-xLi2WO4(0≤x≤0.14)陶瓷体系的最佳烧结温度降低。当x=0.1,在900℃下烧结2h,该陶瓷材料的介电常数εr=9.002,品质因数与频率之积Q×f=11.76×104 GHz,谐振频率温度系数τf=-55×10-6/℃。在此基础上采用w(CaTiO3)=5.0%调节其谐振频率温度系数到0,调节后的微波介电性能为εr=10.312,Q×f=5.36×104 GHz,τf约为0

关 键 词:微波介电性能  低温共烧陶瓷(LTCC)  CaWO4-Li2WO4陶瓷  低损耗  零谐振频率温度系数
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