| 直流磁控溅射在铝衬底上沉积（TixAly）N薄膜及其性能研究 |
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| 引用本文： | 王齐伟,左秀荣,黄晓辉,史新伟,倪培相. 直流磁控溅射在铝衬底上沉积（TixAly）N薄膜及其性能研究[J]. 真空科学与技术学报, 2008, 28(4) |
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| 作者姓名： | 王齐伟 左秀荣 黄晓辉 史新伟 倪培相 |
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| 作者单位： | 郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 |
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| 基金项目： | 河南省科技攻关项目 , 河南省教育厅自然科学研究项目 |
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| 摘 要： | 本文利用独立钛靶,在衬底6063铝合金表面镀覆了一层氮化物薄膜。借助于X射线衍射仪对薄膜的相组成进行分析,利用薄膜测厚仪和显微硬度计对薄膜的厚度和硬度进行测量,通过光学金相显微镜及场发射扫描电子显微镜,观察薄膜的微观组织及薄膜质量。通过观测发现,以独立钛靶在铝衬底表面可以生成（TixAly）N薄膜。薄膜可以强化合金的表面、增加合金的表面硬度。薄膜上的硬度压痕周围没有发现放射状的裂纹,表明薄膜与衬底结合良好。通过SEM观察发现薄膜有良好的颗粒均匀性、致密性和表面平整度。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 (TixAly)N 薄膜 性能 |
Growth and Mechanical Properties of(TixAly)N Coatings Deposited by DC Magnetron Sputtering on Al Alloys |
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