| MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究 |
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| 引用本文： | 王小静,刘永武,王敏,陈晓阳.MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究[J].中国机械工程,2005,16(14):1276-1278. |
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| 作者姓名： | 王小静 刘永武 王敏 陈晓阳 |
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| 作者单位： | 上海大学,上海,200072 |
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| 基金项目： | 上海市科委启明星项目(03QF14019)，上海市科委纳米专项基金资助项目(0452nm023)，上海市科委应用材料基金资助项目(AM0420) |
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| 摘 要： | 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现,气体稀薄效应必须在理论分析模型中计入,否则,将高估空气阻尼的影响。微构件平面尺寸增大将增大挤压阻尼力,且阻尼力的增大速度大于微构件面积的增大速度。谐振频率的提高将显著增强空气阻尼效应。
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| 关 键 词： | 挤压阻尼 稀薄气体 微平面构件 微机电系统 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)14-1276-03 |
Study on the Squeezed Air-damping on MEMS Parallel Plates |
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| Wang Xiaojing,LIU YONGWU,Wang Min,Chen Xiaoyang.Study on the Squeezed Air-damping on MEMS Parallel Plates[J].China Mechanical Engineering,2005,16(14):1276-1278. |
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| Authors: | Wang Xiaojing LIU YONGWU Wang Min Chen Xiaoyang |
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| Affiliation: | Wang Xiaojing Liu Yongwu Wang Min Chen Xiaoyang Shanghai University,Shanghai,200072 |
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| Keywords: | squeezed air-damping gas rarefaction planar micromechanical structure MEMS |
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