| 钙钛矿型氧化物SrTiO3/BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究 |
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| 引用本文： | 姚海军,李燕,罗佳慧,姜斌,邓宏,蒋书文.钙钛矿型氧化物SrTiO3/BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究[J].功能材料,2004,35(Z1):2890-2893. |
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| 作者姓名： | 姚海军 李燕 罗佳慧 姜斌 邓宏 蒋书文 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家973资助项目(513102) |
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| 摘 要： | 用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380～470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散.
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| 关 键 词： | 激光分子束外延 SrTiO3/BaTiO3 多层膜 反射式高能电子衍射 原子力显微镜 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-2890-04 |
| 修稿时间： | 2003年10月13 |
Epitaxial growth of
perovskite oxide SrTiO3/BaTiO3 multilayer films on SrTiO3
substrate |
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| YAO Hai-jun,LI Yan,LUO Jia-hui,JIANG Bin,DENG Hong,JIANG Shu-wen.Epitaxial growth of
perovskite oxide SrTiO3/BaTiO3 multilayer films on SrTiO3
substrate[J].Journal of Functional Materials,2004,35(Z1):2890-2893. |
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| Authors: | YAO Hai-jun LI Yan LUO Jia-hui JIANG Bin DENG Hong JIANG Shu-wen |
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