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定位运动平台气浮导轨设计
引用本文:刘梅,钟黔.定位运动平台气浮导轨设计[J].机械设计与制造工程,2016(7):65-69.
作者姓名:刘梅  钟黔
作者单位:1. 国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心,江苏苏州,215000;2. 迅达电梯有限公司苏州制造分公司,江苏苏州,215000
摘    要:针对高加速度高精度定位气浮平台对气浮导轨高刚度高承栽能力的要求,采用二维线性插值和有限元法推导平面气浮空气轴承的静态性能公式,利用数学软件MATLAB编写有限元程序计算气浮导轨的静态性能并分析相关参数对静态性能的影响.有限元分析结果表明:当气浮平台中节流孔之问的排距与气浮面宽度的比值为一定值、气浮厚度为另一定值时,气浮平台的角刚度和承栽能力得到较优值.研究结果为气浮导轨的静态性能优化提供了理论参考,为气浮平台的结构优化提供了方向.

关 键 词:气浮导轨  承载力  有限元编程

The design of aerostatic stage for the positioning platform
Abstract:
Keywords:air floating guide  bearing capacity  finite element programming
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