| 丝网印刷制备大面积多孔PZT热释电厚膜与器件 |
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| 引用本文： | 吴传贵,罗一生,彭强祥,罗文博,张万里.丝网印刷制备大面积多孔PZT热释电厚膜与器件[J].红外与激光工程,2011,40(7). |
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| 作者姓名： | 吴传贵 罗一生 彭强祥 罗文博 张万里 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054 |
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| 基金项目： | 工业与信息化部电子信息产业发展基金项目(2010-301) |
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| 摘 要： | 采用丝网印刷法在氧化铝基片上制备了大面积多孔PbZr0.3Ti0.7O3热释电厚膜与单元红外探测器。通过掺入Li2CO3与Bi2O3作为助烧剂,实现了厚膜在850℃下的低温烧结。通过保持合适的孔隙率,将厚膜的相对介电常数降低至原值的1/5以提高材料优值与探测率。厚膜在1 kHz、25℃下的相对介电常数与损耗角正切分别为94与0.017。测试了厚膜相对介电常数与损耗随温度的变化规律,测得其居里温度为425℃。通过动态法测试得到厚膜的热释电系数为0.9×10-8 Ccm-2K-1。使用由斩波器调制的黑体辐射,测得单元器件在8.5~2 217 Hz的电压响应与噪声,计算出器件的探测率为3.4×107~1.7×108cmHz1/2W-1。
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| 关 键 词： | 丝网印刷 厚膜 PZT 热释电 |
Manufacture of large area porous PZT thick films and pyroelectric detectors based on screen-printing technology |
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| Wu Chuangui,Luo Yisheng,Peng Qiangxiang,Luo Wenbo,Zhang Wanli.Manufacture of large area porous PZT thick films and pyroelectric detectors based on screen-printing technology[J].Infrared and Laser Engineering,2011,40(7). |
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| Authors: | Wu Chuangui Luo Yisheng Peng Qiangxiang Luo Wenbo Zhang Wanli |
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| Affiliation: | Wu Chuangui,Luo Yisheng,Peng Qiangxiang,Luo Wenbo,Zhang Wanli(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | screen-printing thick films PZT pyroelectric |
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