第十二讲:真空工艺 |
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引用本文: | 张以忱. 第十二讲:真空工艺[J]. 真空, 2003, 0(5): 64-66 |
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作者姓名: | 张以忱 |
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作者单位: | 东北大学,辽宁,沈阳,110006 |
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摘 要: | 2.1.3 离子轰击除气(上接2003年第4期第66页) 利用离子源或空间辉光放电而产生的气体离子轰击被除气的表面,使吸附在材料表面层的污染物(吸附气体、氧化物等)发生溅射作用而分解解吸出来.由于重离子的溅射作用比较强烈,因此常将惰性气体离化作为轰击离子.用于离子轰击除气的离子能量一般为200~1000 eV.
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关 键 词: | 真空工艺 离子轰击除气 溅射阈能 升华热 溅射率 金属材料 玻璃材料 陶瓷材料 |
12th Course,vacuum technology |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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