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| 评价任意面型微光学元件制作误差的方法 | |
| 引用本文： | 高洪涛,杜春雷,张雨东.评价任意面型微光学元件制作误差的方法[J].微细加工技术,2007(4):27-29. |
| 作者姓名： | 高洪涛 杜春雷 张雨东 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209;中国科学院研究生院,北京,100039 2. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209 3. 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 |
| 摘 要： | 提出一种可用于评价任意面型微光学元件制作误差的方法.利用泽尼克多项式描述微光学元件面型,针对元件检测过程中的旋转对准偏差,给出泽尼克系数随旋转角度的变化关系;以设计面型和实测面型之间的均方根偏差(RMS)为加工误差的评价指标,根据其相对于旋转角度的依赖曲线,最小的RMS即是加工误差.数值模拟结果表明,该方法可以将旋转对准偏差矫正,从而有效地评价了制作误差.该方法可应用于任意面型微光学元件的研制. |
| 关 键 词： | 微光学元件 制作误差 泽尼克多项式 任意表面 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)04-0027-03 |
| 修稿时间： | 2007年2月27日 |
Evaluating Method of Fabrication Error of Micro-optical Elements with Arbitrary Profiles |
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| GAO Hong-tao,DU Chun-lei,ZHANG Yu-dong.Evaluating Method of Fabrication Error of Micro-optical Elements with Arbitrary Profiles[J].Microfabrication Technology,2007(4):27-29. | |
| Authors: | GAO Hong-tao DU Chun-lei ZHANG Yu-dong |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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