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| Ricmar联手SMEE开拓中国半导体市场 | |
| 摘 要： | 奥地利Ricmar集团是一家综合半导体制造设备与服务供应商,拥有自动化系统、真空镀膜系统等产品。作为国家光刻设备工程技术研究中心依托单位,上海微电子装备有限公司(SMEE)主要从事用于IC制造的中高端光刻机等关键设备开发, |
| 关 键 词： | 自动化系统 半导体市场 真空镀 光刻设备 制造设备 膜系统 工程技术研究中心 设备开发 电子装备 光刻机 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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