| SF6/O2/CHF3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究 |
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| 引用本文： | 周宏,赖建军,赵悦,柯才军,张坤,易新建.SF6/O2/CHF3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究[J].半导体技术,2005,30(6):28-31. |
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| 作者姓名： | 周宏 赖建军 赵悦 柯才军 张坤 易新建 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,光电子工程系,武汉,430074;华中科技大学,光电子工程系,武汉,430074;华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074;中国电子科技集团第44研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 采用统计实验方法研究了利用SF6/O2/CHF3混合气体产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技术.为了优化刻蚀条件,将刻蚀速率和选择比表示为SF6、O2、CHF3各自的流量以及气压和射频功率的函数.文中讨论了各种变量的变化对刻蚀速率和选择比的影响以及刻蚀机理,证实了加入CHF3可以显著地减小表面粗糙的结论.
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| 关 键 词： | 反应离子刻蚀 硅 刻蚀速率 选择比 |
| 文章编号： | 1003-353X(2005)06-0028-04 |
| 修稿时间： | 2004年11月9日 |
Study on Reactive Ion Etching of Silicon in SF6/O2/CHF3 Mixtures |
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| ZHOU Hong,LAI Jian-jun,ZHAO Yue,KE Cai-jun,ZHANG Kun,YI Xin-jian.Study on Reactive Ion Etching of Silicon in SF6/O2/CHF3 Mixtures[J].Semiconductor Technology,2005,30(6):28-31. |
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| Authors: | ZHOU Hong LAI Jian-jun ZHAO Yue KE Cai-jun ZHANG Kun YI Xin-jian |
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| Abstract: | RIE of Si using SF 6 /O 2 /CHF 3 plasmas was studied. The characteristics of the etch process are explored using a statistical experimental design. Etch rate and selectivity are examined as a function of SF 6 flow, O 2 flow, CHF 3 flow, pressure and the RF power in order to optimize etching condition. The effects of the variables on the measured responses and the etch mechanism are discussed. It is found that the addition of CHF 3 to the SF 6 /O 2 plasma can produce more smooth etch surface. |
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| Keywords: | RIE silicon etch rate selectivity |
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