| 热处理工艺对(111)取向Pt薄膜物相与结构的影响 |
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| 引用本文： | 江民红,顾正飞,陈国华,成钢,申罡. 热处理工艺对(111)取向Pt薄膜物相与结构的影响[J]. 材料热处理学报, 2007, 28(Z1): 142-145 |
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| 作者姓名： | 江民红 顾正飞 陈国华 成钢 申罡 |
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| 作者单位： | 桂林电子科技大学,信息材料科学与工程系,广西,桂林,541004 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法成功制各了(111)取向的Pt薄膜.在研究退火工艺对Pt薄膜(111)取向生长的影响基础上,着重研究了退火工艺对Pt薄膜与缓冲层Pr薄膜间的互扩散及薄膜物相、结构的影响规律.结果表明:250℃保温5至25小时,Pt薄膜沿(111)择优取向生长,但保温时间对取向生长的影响不大,此时薄膜为立方结构;当500℃再分别保温2h和4h时,最初沿(111)取向生长的Pt薄膜与Pr薄膜发生互扩散现象,生成BFe结构的PrPt相,保温2h时,除生成PrPt相外,还可能存在一定量的取向Pt,保温4h时,薄膜中只存在PrPt相.本实验为制备(111)强烈取向Pt薄膜开拓了一条新的工艺及方法,同时为控制Pt薄膜的结构与性能、进行开发应用提供了实验依据.
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| 关 键 词： | Pt薄膜 (111)取向 射频磁控溅射 热处理工艺 PrPt相 热处理工艺 取向生长 薄膜 结构与性能 影响 microstructures processing heat treatment Effect films preference 应用 开发 控制 方法 实验 定量 存在 扩散现象 发生 |
Effect of heat treatment processing on phases and microstructures of(111) orientation preference Pt films |
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| JIANG Min-hong,GU Zheng-fei,CHEN Guo-hua,CHENG Gang,SHEN Gang. Effect of heat treatment processing on phases and microstructures of(111) orientation preference Pt films[J]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2007, 28(Z1): 142-145 |
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| Authors: | JIANG Min-hong GU Zheng-fei CHEN Guo-hua CHENG Gang SHEN Gang |
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