| 基于MEMS压力传感器的研究 |
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| 引用本文： | 颜鹰,史铁林. 基于MEMS压力传感器的研究[J]. 仪表技术与传感器, 2005, 0(2): 7-8 |
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| 作者姓名： | 颜鹰 史铁林 |
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| 作者单位： | 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究("九七三"计划)项目(2003CB716207) |
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| 摘 要： | 提出了一种新型高精度高温压力传感器,此压力传感器以硅片为弹性片,敏感材料为Ni-Cr合金,利用溅射合金薄膜压力敏感元件和先进的加工工艺技术制作而成。对溅射薄膜压力传感器弹性膜应变进行理论和三维有限元分析,再用先进的软件ANSYS模拟弹性膜片的应变分布,研究应变与膜的大小、厚度的关系。最后确定敏感电阻的最佳布置区域,提高了传感器的灵敏度。
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| 关 键 词： | 压力传感器 弹性膜片 应变 有限元分析 |
| 文章编号： | 1002-1841(2005)02-0007-02 |
| 修稿时间： | 2004-05-19 |
Research of Pressure Transducer Based on MEMS |
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| YAN Ying,SHI Tie-lin. Research of Pressure Transducer Based on MEMS[J]. Instrument Technique and Sensor, 2005, 0(2): 7-8 |
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| Authors: | YAN Ying SHI Tie-lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Pressure Transducer Elastic Diaphragm Strain Finite Element Analysis(FEA) |
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