| 化学池沉积法制备CdS多晶薄膜及其性质 |
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| 引用本文： | 黎兵,蔡伟,冯良桓,蔡亚平,李卫,郑家贵,张静全,武莉莉.化学池沉积法制备CdS多晶薄膜及其性质[J].四川大学学报(工程科学版),2004,36(1):49-52. |
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| 作者姓名： | 黎兵 蔡伟 冯良桓 蔡亚平 李卫 郑家贵 张静全 武莉莉 |
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| 作者单位： | 四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50076030)，国家863课题资助项目(2001AA513010)，国家973项目子课题资助项目(G2000028208) |
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| 摘 要： | 采用化学池沉积（CBD）法，在3种不同衬底（玻片、ITO玻片、SnO2玻片）上沉积制备CdS多晶蒲膜，并利用扫描电镜（SEM）、透射光谱、X射线衍射（XRD）和微电流高阻计等方法对沉积膜进行了测试分析，算出了CdS多晶蒲膜的能隙宽度E0和电导激活能Ea，研究了CBD法中CdS多晶蒲膜的生长沉积机制以及不同衬底对沉积效果的影响。结果表明：不同衬底的成膜效果差异较大，其中以SnO2玻片为衬底的沉积效果最佳。
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| 关 键 词： | CdS多晶薄膜 化学池沉积法 太阳电池 制备工艺 薄膜结构 生长机制 |
| 文章编号： | 1009-3087(2004)01-0049-04 |
Proparation and Properties of CdS Polycrystalline Films by Chemical Bath Deposition |
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| LI Bing,CAI Wei,FENG Liang-huan,CAI Ya-ping,LI Wei,ZHENG Jia-gui,ZHANG Jing-quan,WU Li-li.Proparation and Properties of CdS Polycrystalline Films by Chemical Bath Deposition[J].Journal of Sichuan University (Engineering Science Edition),2004,36(1):49-52. |
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| Authors: | LI Bing CAI Wei FENG Liang-huan CAI Ya-ping LI Wei ZHENG Jia-gui ZHANG Jing-quan WU Li-li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdS polycrystalline thin film chemical bath deposition solar cells |
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