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Ag在低温PVF衬底上气相沉积的分形结构
引用本文:魏赛珍,毛祖遂,虞捷,郑永铭,陈晓峰.Ag在低温PVF衬底上气相沉积的分形结构[J].真空科学与技术学报,1997(6).
作者姓名:魏赛珍  毛祖遂  虞捷  郑永铭  陈晓峰
作者单位:浙江大学物理系!杭州,310027,浙江大学物理系!杭州,310027,浙江大学物理系!杭州,310027,高温高密度等离子体物理实验室!成都,610003,高温高密度等离子体物理实验室!成都,610003
基金项目:高温高密度等离子体物理实验室资助
摘    要:用透射电子显微镜(TEM)观察了Ag气相沉积在不同温度的聚乙烯醇缩甲醛(polyvinnlformal,PVF)薄膜衬底上的显微结构,发现在213K的PVF衬底上沉积的Ag具有分形结构,同时观察到有许多大小约为0.3μm的“黑点”分布在分形结构中,这些“黑点”是由特别致密的微晶组成的。与Pd相比较,Ag在PVF上形成分形结构需要更低的衬底温度。利用具有边缘扩散的DLA模型及准二维DLA模型讨论了这些实验结果。

关 键 词:分形结构  银膜  聚乙烯醇缩甲醛  低温
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