Ag在低温PVF衬底上气相沉积的分形结构 |
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引用本文: | 魏赛珍,毛祖遂,虞捷,郑永铭,陈晓峰.Ag在低温PVF衬底上气相沉积的分形结构[J].真空科学与技术学报,1997(6). |
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作者姓名: | 魏赛珍 毛祖遂 虞捷 郑永铭 陈晓峰 |
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作者单位: | 浙江大学物理系!杭州,310027,浙江大学物理系!杭州,310027,浙江大学物理系!杭州,310027,高温高密度等离子体物理实验室!成都,610003,高温高密度等离子体物理实验室!成都,610003 |
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基金项目: | 高温高密度等离子体物理实验室资助 |
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摘 要: | 用透射电子显微镜(TEM)观察了Ag气相沉积在不同温度的聚乙烯醇缩甲醛(polyvinnlformal,PVF)薄膜衬底上的显微结构,发现在213K的PVF衬底上沉积的Ag具有分形结构,同时观察到有许多大小约为0.3μm的“黑点”分布在分形结构中,这些“黑点”是由特别致密的微晶组成的。与Pd相比较,Ag在PVF上形成分形结构需要更低的衬底温度。利用具有边缘扩散的DLA模型及准二维DLA模型讨论了这些实验结果。
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关 键 词: | 分形结构 银膜 聚乙烯醇缩甲醛 低温 |
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