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| Ee~－BES－40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术 | |
| 引用本文： | 晁阳,左云芝,卢维美.Ee~－BES－40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术[J].电工电能新技术,1996(2). |
| 作者姓名： | 晁阳 左云芝 卢维美 |
| 作者单位： | 中国科学院电工研究所 |
| 摘 要： | 本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术──“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空。同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。 |
| 关 键 词： | 电子束曝光，无油真空，故障诊断 |
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