| 各向异性腐蚀技术研究与分析 |
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| 引用本文： | 沈桂芬,吴春瑜,姚朋军,杨学昌,刘兴辉,吕品,高嵩.各向异性腐蚀技术研究与分析[J].传感技术学报,2001,14(2):140-146. |
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| 作者姓名： | 沈桂芬 吴春瑜 姚朋军 杨学昌 刘兴辉 吕品 高嵩 |
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| 作者单位： | 辽宁大学物理系 |
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| 摘 要： | 本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法，根据实验提出了它们的优缺点，介绍了几种向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法，对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义。
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| 关 键 词： | 各向异性腐蚀 自致停止技术 压力传感器 |
| 文章编号： | 1004-1699(2001)01-0140-07 |
| 修稿时间： | 2000年12月18日 |
Study and Analysis of Anisotropic Etching |
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| SHEN Guifen,YAO Pengjun,YANG Xuechang,LIU Xingui,LU Pin,GAO Song.Study and Analysis of Anisotropic Etching[J].Journal of Transduction Technology,2001,14(2):140-146. |
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| Authors: | SHEN Guifen YAO Pengjun YANG Xuechang LIU Xingui LU Pin GAO Song |
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| Abstract: | This paper analyses some kinds of etching ways that form piezoresistive pressure sensor silicon cup by anisotropic etching technology, and enumerates their merits and faults according to the experiments. This paper also introduces some kinds of autostop technologies of anisotropic etching and compensative ways of chamfer in etching, which have an instructive meaning of fabricating micro range and high sensitivity pressure sensor. |
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| Keywords: | anisotropic etching \ silicon cup \ autostop technology |
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