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| 接触电阻和扩展电阻测量方法的研究 | |
| 引用本文： | 茅保华.接触电阻和扩展电阻测量方法的研究[J].固体电子学研究与进展,1984(2). |
| 作者姓名： | 茅保华 |
| 摘 要： | <正>本文简述了金属-半导体欧姆接触的接触电阻和半导体内的扩展电阻的测量方法.金属在半无限大半导体上形成欧姆接触,其总电阻R_t包含接触电阻R_c、扩展电阻R_d和测量系统电阻R_o三部分.可由改进测量方法使R_o忽略不计,进而将R_c和R_d分开,从而较准确地获得了接触电阻率P_c和半导体的体电阻率P_b.直径为d的圆形接触的总电阻是 |
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