一种新型溅射系统中的电子反射镜对放电特性的影响

本文对一种带有电子反射镜的溅射系统的放电特性进行了研究．并对几种不同形状的电子反射镜进行了研究比较。从中看到，圆筒形反射镜中心部分对电子的反射能力较弱，电子和离子容易逃离放电空间而影响等离子体的密度，并造成靶面刻蚀不均匀；同心圆筒型反射镜提高了中心部分反射电子的能力，明显提高了等离子体的密度，并使靶面刻蚀情况得到了改善；栅网型与盘香型反射镜都对电子有较强的反射能力，并能获得较高密度的等离子体；靶面刻蚀均匀。是比较理想的电子反射镜。由靶到电子反射镜之间的距离与靶的直径之比为１：１时，可以获得较高的放电电流。距离过大或过小都对放电不利。另外，磁场强对放电有很大影响，磁场强度的减弱会造成放电电流急剧下降。 由于此系统的磁力线与靶面垂直，所以对磁性材料与非磁性材料都能溅射。