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SiC/GaN功率半导体领域面临测试新挑战
引用本文:吴琪乐.SiC/GaN功率半导体领域面临测试新挑战[J].半导体信息,2012(2).
作者姓名:吴琪乐
摘    要:正目前功率半导体厂商开始由硅转向替代材料,更具体地说是碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)。业界采用在硅衬底和氮化铝缓冲层之上生长GaN的技术来降低成本。这使得设备厂商可以利用现有硅制程技术在衬底上生长PN结。GaN定价也从原先10-15倍于传统硅下降到更容易接受的水平。

关 键 词:功率半导体  测试  新挑战  示波器  领域  开启电压  高分辨率  设备厂商  测量  技术
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