采用图象处理技术的高精度干涉计量系统

一、引言光学干涉计量属非接触的精密检测技术,与触针式测量仪相比,具有不破坏被测表面的特点,且不象触针式测量仪受触点线度的限制,因而兼有较高的空间分辨率。但也存在数据处理不便、瞄准精度差的缺点。干涉图的目视判读精度为λ/10左右。为此,我们采用电视摄像机与计算机对干涉图进行实时判读与数据处理的方法,能在很短的时间内自动输出检测结果,并使干涉条纹判读精度高于λ/120。